Cassette khuếch tán Kanthal
Cassette khuếch tán Kanthal Fibrothal® dùng cho quá trình xử lý bằng khí quyển và/hoặc LPCVD đối với chất bán dẫn và pin mặt trời.
Cassette khuếch tán fibrothal®
Kanthal® Diffusion Cassette Fibrothal® là giải pháp “cắm và gia nhiệt” (plug and heat) dành cho sản xuất các tấm wafer silicon tinh thể chất lượng cao dùng cho pin mặt trời và chất bán dẫn.
Nhiệt độ phần tử lên đến 1350°c (2460°F)
Các cassette khuếch tán có thiết kế khối lượng lớn hoặc khối lượng thấp, phù hợp cho cả hệ thống lò đứng và lò ngang.
Có thể cung cấp các bộ gia nhiệt tùy chỉnh theo từng ứng dụng cụ thể khi có yêu cầu.
Phần tử gia nhiệt đứng kanthal
Các phần tử gia nhiệt đứng thay thế Kanthal có sẵn với hơn 50 thiết kế dành cho các lò đứng OEM. Thiết kế linh hoạt cho phép thay đổi đáng kể các thông số quy trình.
Các phần tử này cung cấp khả năng gia nhiệt đồng đều từ các bề mặt gia nhiệt, định tâm chính xác buồng phần tử gia nhiệt và tùy chọn làm mát bằng không khí cưỡng bức nhằm tăng năng lực sản xuất và giảm thời gian phục hồi.
Nhiệt độ vận hành lên đến 1300°C (2372°F)
Magna AMR, AZ, S và SW.
Hiện có các phiên bản hỗ trợ wafer có kích thước lên đến 300 mm (11,81 inch).
- Độ tin cậy cao hơn, tuổi thọ kéo dài và năng suất cũng như tỷ lệ sản phẩm đạt yêu cầu được cải thiện.
- Vật liệu cách nhiệt bề mặt nóng được tạo hình bằng phương pháp hút chân không và hợp kim phần tử gia nhiệt tiên tiến.
- Giảm phát sinh hạt nhờ sử dụng các lớp phủ bề mặt độc quyền.
- Tùy chọn làm mát bằng không khí cưỡng bức và nước nhằm tối đa hóa năng suất.
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.