Thiết bị gia nhiệt hóa chất trong công nghiệp bán dẫn bằng điện trở, vỏ nhựa PTFE PFA

Thông số kỹ thuật_0,5KW

• Kích thước: ø76 x 310mm (H)
• Máy sưởi: 0,50KW, 208V, 2,4 AMPS
• Thời gian tăng tốc 5,6 phút đối với IPA 0,135 LPM & AT 60 ° C
• Nhiệt độ. Dung sai: ± 0,5 ° C
• IPA Tube: PTFE, 1/8 ″, 3/8 ″ kết nối tùy chỉnh có sẵn
• Vật liệu nhà ở: SUS 304
• Đánh giá áp suất: 5Kg / Cm G @ 80 ° C
• ΔP≤0,2Kg / ㎠ @ 0,135 LPM -1/8 "
• TC giới hạn cao: “k: Loại (Tối đa 175 ° C)
• AL Cơ thể TC: Pt. 100Ω (Tối đa 125 ° C)
• Cầu chì: 167 ° C
• Cách nhiệt: 15mm
• Nhiệt độ bề mặt,: 58 ° C Tối đa

Thông số kỹ thuật_6.0KW

• Kích thước: ø160 x 650mm (H)
• Máy sưởi: 6.0kW (2.0kWx3ea), 208V, 3ø
• Vật liệu thân máy sưởi: Nhôm + PEO COATING
• Vật liệu nhà ở: PTFE
• Vật liệu ống: PTFE
• Nhiệt độ. Dung sai: ± 0,5 ° C
• Kích thước vòi phun vào / ra IPA: W4, (1/2 ″)
• N₂ Vòi phun vào / ra thanh lọc: W, (1/4 ”)
• (Tối đa 2kPa. Ấn hơi Dương)
• Áp suất thiết kế: 5,0 KG / C㎡G @ 80 ° C
• Tổn thất áp suất ≤ 0,6kg/C㎡G@10LPM
• Cảm ứng thân PL: “K” -Type
• Cảm ứng thân Bimetal: 200 ° C Tối đa
• Nhiệt độ bề mặt. : 60 ° C Tối đa
• Bảo hành 1 năm